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矽片多線切割技術詳解

2020-11-10 12:04:33

一、切割液(peg)的粘度
 

    由於在 LKCG400 型多線切割機整個切割過程中, 碳化矽微粉是懸浮在切割液上而通過鋼線進行切割的,所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。


   

 

矽片是半導體和光伏領域的主要生產材料。矽片多線切割技術是目前矽片加工技術,它不同於傳統的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同於先進的激光切割和內圓切割,它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對矽棒進行摩擦,從而達到切割效果。在整個過程中,鋼線通過十幾個導線輪的引導,在主線輥上形成一張線網,而待加工工件通過工作台的下降實現工件的進給。矽片多線切割技術與其他技術相比有:效率高,產能高,精度高等優點。是目前采用廣泛的矽片切割技術。

  多線切割技術是矽加工行業、太陽能光伏行業內的標誌性革新,它替代了原有的內圓切割設備,所切晶片與內圓切片工藝相比具有彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,總厚度公差(TTA)離散性小,刃口切割損耗小,表麵損傷層淺,晶片表麵粗糙度小等等諸多優點。

  在整個切割過程中,對矽片的質量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化矽微粉的粒型及粒度、砂漿的粘度、砂漿的流量、鋼線的速度、鋼線的張力以及工件的進給速度等。

 一、切割液(PEG)的粘度

  由於在整個切割過程中,碳化矽微粉是懸浮在切割液上而通過鋼線進行切割的,所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。

  1、切割液的粘度是碳化矽微粉懸浮的重要保證。由於不同的機器開發設計的係統思維不同,因而對砂漿的粘度也不同,即要求切割液的粘度也有不同。例如瑞士線切割機要求切割液的粘度不低於55,而NTC要求22-25,安永則低至18。隻有符合機器要求的切割標準的粘度,才能在切割的過程中保證碳化矽微粉的均勻懸浮分布以及砂漿穩定地通過砂漿管道隨鋼線進入切割區。

  2、由於帶著砂漿的鋼線在切割矽料的過程中,會因為摩擦發生高溫,所以切割液的粘度又對冷卻起著重要作用。如果粘度不達標,就會導致液的流動性差,不能將溫度降下來而造成灼傷片或者出現斷線,因此切割液的粘度又確保了整個過程的溫度控製。

  二、碳化矽微粉的粒型及粒度

  太陽能矽片的切割其實是鋼線帶著碳化矽微粉在切,所以微粉的粒型及粒度是矽片表片的光潔程度和切割能力的關鍵。激光劃片機、粒型規則,切出來的矽片表明就會光潔度很好;粒度分布均勻,就會提高矽片的切割能力。
 

三、砂漿的粘度

  線切割機對矽片切割能力的強弱,與砂漿的粘度有著不可分割的關係。而砂漿的粘度又取決於矽片激光劃片機切割液的粘度、矽片切割液與碳化矽微粉的適配性、矽片切割液與碳化矽微粉的配比比例、砂漿密度等。隻有達到機器要求標準的砂漿粘度(如NTC機器要求250左右)才能在切割過程中,提高切割效率,提高成品率。

  四、砂漿的流量

  鋼線在高速運動中,要完成對矽料的切割,必須由砂漿泵將砂漿從儲料箱中打到噴砂咀,再由噴砂咀噴到鋼線上。砂漿的流量是否均勻、流量能否達到切割的要求,都對切割能力和切割效率起著很關鍵的作用。如果流量跟不上,就會出現切割能力嚴重下降,導致線痕片、斷線、甚至是機器報警。

  五、鋼線的速度

  由於線切割機可以根據用戶的要求進行單向走線和雙向走線,因而兩種情況下對線速的要求也不同。單向走線時,鋼線始終保持一個速度運行(MB和HCT可以根據切割情況在不同時間作出手動調整),這樣相對來說比較容易控製。目前單向走線的操作越來越少,用於MB和HCT機器。

  雙向走線時,鋼線速度開始由零點沿一個方向用2-3秒的時間加速到規定速度,運行一段時間後,再沿原方向慢慢降低到零點,在零點停頓0.2秒後再慢慢地反向加速到規定的速度,再沿反方向慢慢降低到零點的周期切割過程。在雙向切割的過程中,線切割機的切割能力在一定範圍內隨著鋼線的速度提高而提高,但不能低於或超過砂漿的切割能力。如果低於砂漿的切割能力,就會出現線痕片甚至斷線;反之,如果超出砂漿的切割能力,就可能導致砂漿流量跟不上,從而出現厚薄片甚至線痕片等。

  目前MB的平均線速可以達到13米/秒,NTC達10.5-11米/秒。

  六、鋼線的張力

  鋼線的張力是矽片切割工藝中相當核心的要素之一。張力控製不好是產生線痕片、崩邊、甚至短線的重要原因。

  1、鋼線的張力過小,將會導致鋼線彎曲度增大,帶砂能力下降,切割能力降低。從而出現線痕片等。

  2、鋼線張力過大,懸浮在鋼線上的碳化矽微粉就會難以進入鋸縫,切割效率降低,出現線痕片等,並且斷線的幾率很大。

  3、如果當切到膠條的時候,有時候會因為張力使用時間過長引起偏離零點的變化,出現崩邊等情況。

  MB、NTC等線切割機一般的張力控製在送線和收線相差不到1,隻有安永的相差7.5。

  七、工件的進給速度

  工件的進給速度與鋼線速度、砂漿的切割能力以及工件形狀在進給的不同位置等有關。工件進給速度在整個切割過程中,是由以上的相關因素決定的,也是沒有定量的一個要素。但控製不好,也可能會出現線痕片等不良效果,影響切割質量和成品率。

  總之,太陽能矽片線切割機的操作,是一個經驗大於技術流程與標準的精細活。隻有在實際操作中,不斷總結與探討,才能對機器的駕馭遊刃有餘。

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